クリーンルーム外調機及び加湿用エアワッシャーの純水削減

加賀東芝エレクトロニクス（株）

加賀東芝エレクトロニクス（株）では、ディスクリート半導体と呼ばれるトランジスタやダイオードの素子のうち、特に電流・電圧の制御を行うパワー半導体に注力して製造を行っています。その製造過程では多くの水を使用します。
半導体の製造に適したクリーンルーム内の温湿度を保つためには空調機の稼働が欠かせません。空調機に外気を取り込む前に、外調機で外気を処理し空調機に送り込むことで、空調機の負荷を下げるとともに省エネにもつなげています。外調機のエアワッシャー^※には常時純水が流れており外気を加湿して空調機へ送っていますが、この純水の量をクリーンルーム内の湿度と連動させ最適化することで、水の受入量を削減しました。（年間削減量：2,383m³/年）。

• エアワッシャー：空気中の汚染物質を水で除去すると同時に、加湿を行う装置