生産技術センター

東芝の研究開発・技術

コア生産技術

材料・デバイスプロセス技術

ナノメートルからメートルスケールまでの構造体・デバイス・ システムを対象に、メカニズム理解に基づいた製造プロセスや処理プロセスの生産性向上および新規技術の提案を目指して、加工技術・反応制御技術・解析技術などを研究開発しています。

[イメージ] 材料・デバイスプロセス技術

プロセス・分析・シミュレーション

エネルギー・インフラシステム・電子デバイスなどの製品の早期量産化や生産性向上を目指し、コア技術である各種のプロセス技術や材料・分析技術、シミュレーション技術などの研究開発をしています。多機能ナノファイバー膜の形成といったユニークなプロセス技術の研究開発や、製造プロセスのデジタル化なども行っています。

[イメージ] エレクトロスピニング法によるナノファイバ機能膜形成

エレクトロスピニング法によるナノファイバ機能膜形成

[イメージ] 原子層エッチングによる微細加工

原子層エッチングによる微細加工

[イメージ] 乾燥現象の可視化・シミュレーション

乾燥現象の可視化・シミュレーション

[イメージ] 開発薬液による基材表面の清浄化

開発薬液による基材表面の清浄化

新規デバイス開発とプロセス応用

塗布プロセス、真空プロセス、薬液プロセス、流体制御などに関する多くの技術や知見をベースとして、実験装置を設計・試作し、最新の計測技術やシミュレーション技術を適用した解析・評価を行うことで、プロセスの性能向上や低コスト化を実現します。
また、新規デバイスのコンセプト提案から基礎設計、試作による実証を行い、新規製品の上市に向けた取り組みを行っています。

[イメージ] 3D配向型コラーゲンナノファイバーシート

3D配向型コラーゲンナノファイバーシート

[イメージ] SCiB™製造プロセスへの適用

SCiB™製造プロセスへの適用

[イメージ] 半導体パワーデバイスのシミュレーション・特性評価

半導体パワーデバイスのシミュレーション・特性評価

[イメージ] 高粘度インクジェットヘッドによる省材料塗布

高粘度インクジェットヘッドによる省材料塗布