実装プロセス技術

Si加工、接合、接着に関する技術をベースに、電子デバイス、社会インフラ、エネルギーなど東芝の主力事業に対して、製品・システムの性能向上、低コスト化、新規製品の生産技術の開発に取り組んでいます。

先端ウェット・シリコン加工技術

電気化学をベースとしためっき、エッチングなどのウェット技術を高度化し、ウエハ加工に適用することで、新規デバイスの創出、ならびに生産性向上を進めています。さらに、界面反応の詳細解析を確立することで、プロセスの高度化と、反応予測に取組んでいます。

接合・接着・組立技術

焼結、硬化などの現象を見極め、反応をモデル化して熱処理工程を適正化することで、製品の高機能化・高性能化に貢献するとともに省エネを実現しています。具体的には、反応を定式化できるマスターカーブと、熱流体解析を組み合わせて生産の熱処理工程の課題を見える化し、処理条件を適正化して展開しています。また、IoTを活用した接合・組立工程の高度化と工場スマート化にも取組んでいます。

実装設計・可視化・解析技術

実現象を可視化し、製品の製造から信頼性までスルーして予測できるシミュレーション技術を構築しています。高度な実測、評価技術による現象把握と、複雑な現象や材料のモデル化を強みとして、設計段階で高性能と高品質を両立させる製品開発のフロントローディングを推進しています。

生産工程のスマート化技術

生産工程の装置のログデータを収集し、工程状態を可視化、分析することにより、作業者の効率向上や品質管理の適正化を支援する仕組みを構築しています。さらに、製造ノウハウを盛り込んだAIの活用により、改善を自律的に提案する手法の開発に取り組んでいます。