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東芝レビュー

54巻11月号

特集 先端半導体デバイス技術

表紙イメージ
目次
特集　先端半導体デバイス技術
  • 先端半導体デバイス技術の更なる発展を目指して（411KB／PDFデータ）
  • TREND 先端半導体デバイス基礎技術の研究動向（2.74MB／PDFデータ）
  • 高速低消費電力SOI技術（1.85MB／PDFデータ）
  • シリコン酸化膜技術（1.96MB／PDFデータ）
  • 超LSI用フォトマスク製作を実現したEB描画装置・欠陥検査装置（2.62MB／PDFデータ）
  • BCB薄膜誘電体層を持つ60GHz帯MMIC増幅器（2.05MB／PDFデータ）
  • 10 Gbps変調器集積化光源（1.90MB／PDFデータ）
  • ダイオードより低いオン電圧を持つ600 V系トレンチゲートIGBTの設計（2.00MB／PDFデータ）
    • 一般論文
  • 鉛フリーはんだ実装技術（2.10MB／PDFデータ）
  • 神奈川県内広域水道企業団納入 相模取水施設 監視制御システム TOSWACSTM-GX（2.21MB／PDFデータ）
  • CTIを導入した東芝コールセンターシステム（2.24MB／PDFデータ）
  • 光ディスクの高密度化に貢献する光学素子アポダイザの特性（1.87MB／PDFデータ）
  • 三次元CGを用いたディジタル放送 （2.04MB／PDFデータ）
  • 21世紀を目指した原子炉計測システム（2.43MB／PDFデータ）
  • 中空糸膜式復水ろ過装置の火力発電所への適用（1.91MB／PDFデータ）
  • 革新的な静音化を実現したMRIシステムEXCELARTTM （1.99MB／PDFデータ）
    • テクノノート
    21世紀のエネルギー"燃料電池"
    １． 燃料電池の原理と歴史（1.02MB／PDFデータ）