MESホストと半導体装置間の通信規格や仕様の差異を吸収し、
オンライン化を早期に実現することにより工場自動化をサポート
業界標準のSEMIスタンダードに準拠しSECS/HSMS/GEMの規格に対応した、半導体装置の早期オンライン化実現のための通信ソフトウェアです。
MESとの連携に欠かせない、装置への着工指示、装置稼働情報や着工情報などの通信をサポートします。
オンライン化に向けた課題
- 装置が通信に対応していない
- 装置管理ホストと装置の仕様に違いがありオンライン化できない
- MESで複数の装置をまとめ管理したい
- 装置をオンライン化したいがプログラムを変更したくない
で解決
※MES＝Manufacturing Execution System
特長
装置オンライン化を実現
- 装置管理ホストや装置ごとの個別仕様の差異を吸収しフレキシブルな対応が可能
- 既存の通信ソフトを変更することなくユーザ要求の通信を実現
- GEMスタンダード装置への移行が可能
SEMIスタンダードの対応
（業界標準に準拠）
- 通信プロトコルは、HSMS、SECS-Ⅰいずれも対応
- SECS-Ⅱフルサポート、装置と一体でGEM（Generic Equipment Model）準拠
- マルチデバイス、マルチトランザクション対応
豊富なAPI
- ユーザアプリケーション構築のための豊富なAPIを標準装備
- メッセージ変換/加工を設定レベルで実現
- 装置オンライン化の工期短縮、ソフトウェア開発費用を削減
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関連サイト
Industrie4.0を見据え、次世代ものづくり実現を目指したMESソリューション
次世代ものづくりとして必要な自動化生産機能や汎用インターフェース機能、ビッグデータ分析連携を搭載し、歩留りや生産性の向上が図れます。
今後、ダイナミックセル生産機能やパーソナライズ生産機能を追加することで「つながる工場」の実現を支援します。
