特集・トピックス:単結晶シリコンウエハー引上げ装置用超電導マグネット
東芝は1988年から単結晶シリコンウエハー引上げ(MCZ)装置用超電導マグネットを製造しており、国内外の累計で500台以上の納入実績があります。
現時点のラインナップとしては以下のタイプを取り揃えております。
From 1988, Toshiba has manufactured over 500 superconducting magnets
for Silicon Single-Crystal Pullers.(MCZ:Magnetic field applied Czochralski)
At present, Toshiba has the following types of products.
We can provide magnetic field distribution according to your request.
ラインナップ/Lineup
サイズ・・・8インチ/12インチ
磁場 ・・・水平タイプ/カスプタイプ
Size・・・8inch/12inch
magnetic field・・・horizontal/CUSP
カタログ(ダウンロード)
Leaflet_superconductingmagnet.pdf (PDF形式)(6MB)
特許
特許第4594794号
特許第5889509号
特許第5421170号