ニュースリリース
東芝ソリューション、工程進捗管理パッケージLotViewer®にSPCオプションを搭載
～ロット異常の事前予測や検知により、
半導体・液晶・電子デバイス製造工場における歩留まり向上を支援～
- 東芝ソリューション株式会社
東芝ソリューション株式会社（本社：東京都港区、取締役社長：梶川茂司）は、半導体製造における製品の品質管理強化を目的としたSPC（Statistical Process Control:統計的工程管理）機能を開発、工程進捗管理パッケージLotViewerRのオプションとして３月より販売を開始します。
多くの半導体、液晶、電子デバイス工場では、品質向上のために製造工程管理の改善が課題となっています。
製造工程の途中でロット（一連の工程で生産される製品の一群）に異常が発生した場合でも、製品が完成して検査をするまで気付かずに不良品を作り続けてしまうことになり、結果として多くの損失を被ることがあります。
「オンラインSPCオプション」は、あらかじめJIS規格や独自ルールで設定した監視マスタに従い、製造工程における製品や装置の品質情報をリアルタイムに監視します。
ロットの異常を検出した場合には、情報をLotViewer®へ通知すると共にマスタの設定に従い必要な処置を施します。
不良品が増える前に工程をストップして対策を打つことができるため、製品の歩留まり（生産された全ての製品に対する、正常な製品の割合）の向上に寄与して、損失を未然に防ぐことができます。
また、「オフラインSPCオプション」は、LotViewer®で蓄積した製品の品質情報を工場の解析技術者が自身で設定した条件に基づき抽出し、様々な形式のグラフで表現します。製品の品質を解析し、隠れた問題を抽出してさらなる品質向上を目指すことを支援します。
東芝ソリューションは今後、LotViewer®ＳＰＣオプションを半導体、液晶、電子デバイス製造工場向けに販売、３年間で５億円の売上を見込みます。
＜各機能詳細＞
- オンラインＳＰＣ機能
- JIS規格の「管理図－一般指針（Z9020)、「シューハート管理図（Z9021）」に規定されたルールをもとに判定。
- 警告の対象と判断された場合に、担当者へのメール送信、ロットの自動保留などを実行。
- お客様独自の判定ルールを追加することが可能。
- オフラインＳＰＣ機能
- 管理図（一般、層別、層重ね合わせ）、ヒストグラム、パレート図、散布図で、品質情報をビジュアル化。
- 装置別且つ時系列に情報の推移をとらえることで、品質情報の傾向を把握。
- 技術者の方々が自身で設定した条件で解析することが可能。
＜画面イメージ＞
オンライン管理図
オフライン層別管理図
警告一覧
製品紹介URL： https://www.toshiba-sol.co.jp/pro/lotviewer/index_j.htm
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