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東芝ソリューション、半導体・液晶製造工場に向けRecipeWizard® EXを商品化 ～ マルチプラットフォーム対応で規模に応じた拡張が可能に ～
東芝ソリューション株式会社
東芝ソリューション株式会社（本社：東京都港区、取締役社長：梶川茂司）は、半導体・液晶製造工程でのレシピ（＊１） を管理するシステムRecipeWizard®(レシピ ウィザード)のマルチプラットフォーム対応版 RecipeWizard® EXを商品化、２００７年２月より販売を開始します。
半導体・液晶製造業界では設備や材料の価格が増大、その回収の為に装置稼働率の向上が求められています。このため、従来は個々の装置毎に管理していたレシピをホストで一元管理しオンラインで装置に反映させることにより、レシピ管理のための装置の拘束時間を減少させることができる「レシピ管理システム」の必要性が高まっています。
RecipeWizard® は半導体・液晶製造工程に関わる装置のレシピデータをデータベースで管理します。レシピデータをホストで管理することで他システムとの連携が容易となり、ユーザニーズを反映した生産システム構築を可能にします。また、「マスタ情報を用いた半導体装置レシピデータ構造の汎用定義機能」（特許出願中）により、異なった機種、装置のレシピデータも一元的に管理することができます。
従来、RecipeWizard® はUnixサーバーでのみ稼動可能でしたが、RecipeWizard® EX ではWindowsサーバーでも稼動するようになります。これに併せライセンス形態も見直し、システムの初期導入コストを抑え、規模に応じ拡張していくことを可能にします。
東芝ソリューションでは、今後３年間でRecipeWizard® およびRecipeWizard® EX １０セットの販売を見込みます。
レシピ： 半導体・液晶製造装置に与えられる、処理方法やパラメータ（温度や圧力など）を指定するデータの集まり。
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